微量氧分析儀是一種常用的分析儀器，有便攜式、電化學、在線式多種類型。采用*密封的燃料池氧傳感器是當前上較為先進的測氧方法之一，其核心部分是一個激光檢測裝置，其中的氦氖激光器可以發(fā)射一種安全的低功率單波激光到一個氣體測試腔內。由于激光能量微弱，裝置內部通過檢測腔兩端的反射鏡不斷進行反射，將能量放大1000倍左右。光子與氣體分子發(fā)生碰撞后發(fā)生散射，產生一種不同于激光頻譜的光譜，而且不同分子散射出來的光譜是特定不相同的。
在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，如果處理不當易造成對樣品的污染和干擾，出現(xiàn)分析結果數(shù)據(jù)不正常，一些因素可能會影響微量氧分析儀的測量使用，比如：
1、干擾雜質影響
干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，近又發(fā)現(xiàn)微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當?shù)姆治鰞x，才能得到準確的結果。
2、背景氣干擾
如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。
對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數(shù)據(jù)。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。
在管道系統(tǒng)凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化氧氣，此處要及時更換過濾器以免損壞設備使用壽命。
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